真空直讀光譜儀的結構要比非真空直讀光譜光復雜，各種光學元件置于真空分光室中這種殼體必須保證在真空度的作用下不變形，相對位置不發生變化；尤其是分光室的結構必須考慮受力均勻，變形小。

       對于真空度為10-3mm/Hg，要有專用真空泵設備，為了防止油蒸汽污染分光儀的內部，影響光學零件的透過率，真空泵設在分光儀的底部。采用防震措施，使整個分光儀的光路不受震動的影響。真空室內與真空外部接觸的運動零件（如描跡狹縫，石英窗，透鏡）要盡量減少，并需要密封材料，以免在抽真空時發生漏氣，影響真空度。

       真空光電直讀光譜儀主要是用來研究真空紫外光譜區λ<190nm的原子光譜，對鋼鐵分析來講，主要是解決碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。由于空氣嚴重影響遠紫外光譜的吸收，所以必須把分光室內抽成真空。

創想GLMY CX-9800真空型直讀光譜儀器

       由于空氣成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各種惰性氣體組成，其中以前三者含量最高，空氣對遠紫外光譜的吸收是很強烈的，尤其以氧氣的吸收最為嚴重。氧氣在遠紫外光譜區存在著兩個吸收區，第一個吸收區是從195nm開始直到176nm左右，在160一130nm的光譜區氧氣基本上是透明的。第二個吸收區是110一130nm或者更短波長，該吸收區的吸收峰處在145nm附近。在吸收峰附近，14 微米厚的氧氣層在常溫常壓下能吸收進入其中的一半輻射強度。

       氮氣的吸收區是從145nm開始，直到99nm，隨后吸收變小，氮氣在>145nm的遠紫外光譜區是透明的。

       水蒸汽具有兩上吸收區，一個是從178nm開始，另一個是從134nm開始。水蒸氣的吸收比氧氣弱很多。

       惰性氣體的吸收是比較小的，可以忽略不計。根據以上討論?？梢哉J為空氣對遠紫外光譜和吸收主要取決于氧氣，因此工作光譜區域大于160nm 的分光室必須保持真空度0.001-0.01mm/ Hg。

       真空直讀光譜儀的分光系統置于無氧的空間中為此配備了抽氣系統，抽氣系統由高速泵組成。